功能薄膜三维卷曲构造获进展

　    随着纳米技术的发展，研究者们逐渐将目光从传统的平面二维微纳结构转向立体的三维微纳结构。由不同材料构筑而成的三维微纳结构有比较高的集成密度和平面结构无法实现的复杂功能。相关的人士提出了一种基于微液滴嵌入的功能薄膜剥离技术，实现了对纳米薄膜卷曲行为的准确控制和卷曲三维微纳结构的大规模制备。

　　这一方法为三维微纳结构提供了一种简便、成本比较低、普适、可控的制备方案。

　　利用这一方法制备卷曲三维微纳结构的过程比较简单。只需将一滴液体滴加在图形化沉积的多层纳米薄膜样品上，功能薄膜便会在接触到液体的瞬间从基底剥离卷曲形成不同的三维结构。而液体在样品表面的流动扩散会不断剥离每个接触到的纳米薄膜，完成规模化的制备过程。通过不同的基底材料设计，这一方法成功应用于不同金属及氧化物体系的三维微纳结构的制备。

　　为了实现对纳米薄膜卷曲行为的准确的控制，研究团队利用与微操作系统相连接的毛细管控制样品表面的微液滴运动以准确设定液体与纳米薄膜的接触剥离点，使纳米薄膜脱离了图形和材料的限制，能够沿着任意方向进行卷曲。结合功能薄膜的图案设计，完成了不同的复杂三维结构的设计和制备。研究团队比较好的利用了这一新颖的制备方式构筑不同材料的三维微纳结构，展示了其在气体传感、光学谐振腔、微纳马达及机器领域的应用潜力。